超精密加工的发展经历了三个阶段。
20世纪50年代至80年代为技术开创期。20世纪50年代末，出于航天、等技术发展的需要，美国发展了超精密加工技术，开发了金刚石刀具超精密切削——单点金刚石切削技术，又称为“微英寸技术”，用于加工激光核聚变反射镜及载人飞船用球面、非球面大型零件等。从1966年起，美国的unionCarbide公司、荷兰Philips公司和美国LawrenceLivemoreLaboratories陆续推出
各自的超精密金刚石车床，但其应用限于少数大公司与研究单位的试验研究，并以用途或科学研究用途的产品加工为主。这一时期，金刚石车床主要用于铜、铝等软金属的加工，也可以加工形状较复杂的工件，但只限于轴对称形状的工件例如非球面镜等。
超精密特种加工
要获得超精密的加工精度，仍有赖于精密的加工设备控制系统，并采用超精密掩膜作中介物。例如超大规模集成电路的制版就是采用电子束对掩膜上的光致抗蚀剂（见光刻）进行曝射，使光致抗蚀剂的原子在电子撞击下直接聚合(或分解)，再用显影剂把聚合过的或未聚合过的部分溶解掉，制成掩膜。电子束曝射制版需要采用工作台定位精度高达±0.01微米的超精密加工设备。
精密零件加工具体有哪些特点呢？
一、精密零件切削加工
主要有精密车削、镜面磨削和研磨等。在精密车床上用通过精细研磨的单晶金刚石车刀举行微量车削，切削厚度仅1微米左右，常用于加工有色金属材料的球面、非球面和平面的反射镜等高精度、外表高度光洁的零件。例如加工核聚变装置用的直径为800毫米的非球面反射镜，外表粗糙度为米。
二、精密零件加工
精密零件加工精度以纳米，甚至后以原子单位(原子晶格距离为0.1～0.2纳米)为目标时，超精密零件切削加工方法已不能适应，必要借助特种精密零件加工的方法，苏州CNC加工，即应用化学能、电化学能、热能或电能等，使这些能量超越原子间的联合能，从而去除工件外表的部分原子间的附着、联合或晶格变形，以达到超精密加工的目的。属于这类加工的有机械化学抛光、离子溅射和离子注入、电子束曝射、激光束加工、金属蒸镀和分子束外延等。
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